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氮气无氧烤箱（快温变型）
设备用途 ：本试验设备适用于航空、汽车、工矿企业、家电、实验室、科研单位及大专院校等领域对其产品及材料进行高温的环境下检验其各项性能指标。适用于对晶圆切片烘烤、高温固化、退火或去应力的无氧工艺烘烤环节
氮气无氧烤箱（快温变型）技术参数：
参数型号 | DQ-GD50L | DQ-GD100L | DQ-GD500L |
容积（L） | 50L | 100L | 500L |
内部尺寸mm | 350*360*400 | 450*470*450 | 800*800*800 |
外部尺寸mm(约） | 550*800*1350 | 980*800*1530 | 1250*1200*1890 |
功率 | 2.5KW | 5.2KW | 7.2KW |
温度范围 | 20~200℃ | ||
温度波动度 | ≤±1℃ | ||
温度均匀度 | ≤±2%℃ | ||
升温速率 | 10℃~15℃/min（25℃~130℃用时约20min） | ||
降温速率 | 6~8℃/min（180℃~50℃用时<15min） | ||
降温方式 | 风循环+氮气置换+压缩机制冷 | ||
氧含量 | 50PPM/100PPM（可选） | ||
氮气流量调节 | 0~100L/min手动可调节 | ||
N2控制方式 | PLC 程序自动控制 | ||
N2置换控制方式 | PLC 程序自动控制 | ||
隔板 | 两块 | 三块 | |
氮气无氧烤箱（快温变型）结构特点：
内箱材质 3.0mm 厚度优质 SUS304不锈钢板，采用激光切割与激光焊接工艺表面加强减少变形
内腔密封工艺 内胆采用内侧激光满焊接与内胆内侧满焊接后镜面抛光处理，使氮气进入后密封减少与空气的交换
外箱材质 1.2mm 厚度冷轧钢板，采用数控加工工艺激光切割，表面米白色静电烤漆，坚固、美观、耐用
门封结构 内侧采用 T 槽型高温硅胶密封圈密封，更换维护便捷，密封度更佳风道结构 采用后背整体倒流板式电机循环中心吸风多面排风风道
保温棉 超细超陶瓷纤维保温棉/硅酸铝板填充
加热器 高温型不锈钢翅片式四组加热器，内嵌式加热元件安装于不锈钢腔体夹层中极为安全
循环马达 采用变频调速控制器， 自散热系列专用长轴高温风机配不锈钢离心叶轮，密封连轴结构，密封工艺
测控系统：
温度控制器采用 PLC 彩色触摸屏控制 、采用多组 PID 控温模式，具备 SSR
过零触发固态控温，具备30段、30个温度阶梯、30个周期可编程、具备数据保护曲线实时查询，历史报警故障查询等，数据通讯与记录 具备 R485或232通讯
口与通讯协议，配 USB 数据拷贝
计时器 PLC 自带标准的电子计时器1秒—9999小时（任意可调）
其他：
配置 N2进气口φ8mm 快插气管
配置 N2进气压力调节器，进气压力为0.3~0.6Kg（现场需要具备氮气管道或氮气瓶）
配置独立与 PLC 以外的限温超温保护调节器（超温自动切断加热器）配置腔体超压力保护释放压力阀保护
配置密封联轴器风冷接口（高温运行中不能停止循环马达冷却断气）线路设有短路保护停电记忆装置、确保突然断电恢复、确保突然断电恢复
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